O₃水处理工艺类型很多，主要有以下几种类型：①O₃十生物活性炭法，②O₃ 混凝法，③O₃ 活性炭吸附法，④O₃ 活性污泥法，⑤O₃ 膜处理法，⑥O₃ 超声波法。


O₃ 生物活性炭法主要过程是：先往水中投加臭氧，其强氧化性使复杂有机物分子断链成小分子，从而易于生物降解，同时提高了水中溶解氧浓度。

然后再进人生物活性炭装置，易降解有机物被活性炭富集，经好氧微生物氧化分解为CO₂和H₂O等。

该工艺的特点是臭氧预处理提高了废水的可生化性，有机物的富集和富氧提高了生化反应速度；活O₃水处理工艺类型很多，主要有以下几种类型：①O₃十生物活性炭法，②O₃ 混凝法，③O₃ 活性炭吸附法，④O₃ 活性污泥法，⑤O₃ 膜处理法，⑥O₃ 超声波法。


O₃ 生物活性炭法主要过程是：先往水中投加臭氧，其强氧化性使复杂有机物分子断链成小分子，从而易于生物降解，同时提高了水中溶解氧浓度。

然后再进人生物活性炭装置，易降解有机物被活性炭富集，经好氧微生物氧化分解为CO₂和H₂O等。

该工艺的特点是臭氧预处理提高了废水的可生化性，有机物的富集和富氧提高了生化反应速度；活性炭上的有机物生物降解又可恢复活性炭吸附性能。

O₃ 混凝法基于O₃对亲水性物质强烈的破坏力，当亲水性物质转变成疏水性时，混凝沉淀效果将大大改善。

O₃ 活性炭吸附法是指：由于活性炭微孔孔隙小，限制了对大分子物质的吸附，O₃可破坏物质分子结构，形成小分子，增大活性炭吸附容量。

O₃ 活性污泥法的作用如同生物活性炭法，目的在于提高废水的可生化性。

在O₃ 膜处理法中，O₃常用在超滤(UF)的后处理上。

在O₃ 超声波处理法中，超声功率的增大可增加反应速度，O₃通人量增大可加深生物反应程度，提高复杂有机物去除率。


臭氧单元处理主要是催化氧化法，如碱催化氧化、光催化氧化和多相催化氧化等，具体处理方法有：①O₃／H₂O₂，②O₃／UV(紫外光)，③O₃／固体催化剂(金属及其氧化物，活性炭等)。

从反应机理看：①属于碱催化臭氧化，②属于光催化臭氧化，③属于多相催化臭氧化。


碱催化臭氧化反应的途径是：通过OH^-催化，生成·OH自由基，再氧化分解有机物，·OH基产生过程如下：
O₃ OH^-→·O₂ HO₂，O₃ ·O₂→O₃ O₂，·O₃ H →HO₃·→·OH O₂
光催化氧化是以紫外线为能源，以臭氧为氧化剂，利用臭氧在紫外线照射下生成的活泼次生氧化剂来氧化有机物，Gary，P·Peyton等认为臭氧光解先产生H₂O₂，H₂O₂在紫外光的照射下又产生·OH基，进入·OH自由基循环：
O₂^- O₃→·O₃^- O₂，·O₃^- H →HO₃·→·OH O₂
利用光催化臭氧化法处理难降解有机物废水时，部分难降解有机物在紫外光照射下，提高了能级，处于激发状态，与·OH基发生羟基化反应，生成易于生物降解的新物质。


多相催化臭氧化是近几年发展起来的新技术，其金属催化的目的是促进O₃的分解，以产生活泼的·OH自由基强化其氧化作用，常用的催化剂有CuO、Fe₂O₃、NiO、TiO₂、Mn(II)等。