检漏评价：

下游侧0.3μm和0.5μm粒径分别＜3×10-4与1×10-4，作合格论。

如某点读数的窜透率＞0.01％，说明该点有泄漏，应修补。

累计修理面积＞总面积的5%时，过滤器应报废。

气流流型的检测

气流流型的检测包括气流目测和气流流向的测试。

气流目测可采用示踪线法、发烟（雾） 法和采用图像处理技术等方法。

气流流向的测试一般采用示踪线法、发烟（雾）法和三维法测量气流速度等方法。

温度的检测

洁净室（区）的温度测试可分为一般温度测试和功能温度测试。

温度测试可采用玻璃温度计、电阻温度检测装置、数字式温度计等。

温度测试应在洁净室（区）进行调试，气流均匀性测试完成，并在净化空调系统连续运行24h以上后进行。

一般温度测试的测点，每个温度控制区或每个房间1个测点，测试点高度宜为工作面高度。测量时间应至少1.0h，并至少6min测量一次，读数稳定后作好记录。

功能温度测试，应将洁净工作区划分为等面积的栅格，每个分格的面积不超过100㎡或与建设方协商确定，每格测点1个以上，每个房间测点至少2个。

相对湿度的检测

湿度测试可采用通风干湿球温度计、数字式温湿度计、电容式湿度计、毛发式湿度仪器。相对湿度测试的测点，测试时间、频度与温度测试相同，宜一同测试。

密闭性测试

密闭性测试用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室（区）或非洁净室（区）通过吊顶、隔墙等表面或门、窗渗漏入洁净室（区）。

一般适用于1级至5级的洁净室（区）进行测试。采用光度计法和粒子计数器法进行测试。

采用粒子计数器法时，测量被评价的表面的洁净室（区）外部的空气中悬浮粒子浓度，应比洁净室（区）内的浓度大一个10a(a=4)的倍数，并至少大于等于3.5×106/m3待测粒径；若其空气中悬浮粒子浓度小于该值，应添加气溶胶提高浓度。

粒子计数器扫描时，仪器应距离洁净室（区）内待测试的接缝密封处或啮合面5～10cm；扫描速度5cm/s。对敞开的门廊处的测试，应在距离洁净室（区）内敞开的门0.3 ～ 3.0m处检测空气中悬浮粒子浓度。

噪声测试

噪声测试宜采用倍频程噪声分析仪，一般检测A声压级的数据。洁净室（区）噪声测试状态为空态或与建设方协商确定。

噪声测试点应在工作面高度进行，一般宜为距地面1.2~1.5m。测试点数量可按每100㎡洁净室（区）面积一个点计算，但每个房间至少1点。

照度测试

照度测试宜采用便携式数字照度计。

洁净室（区）照度的检测应在室内温度稳定和光源光输出稳定的状态后进行；对新荧光灯区应使用100h以上，并在点燃15min后进行测试。

照度测试点应选择在工作面高度进行，一般宜为0.85m，通道测试高度宜为0.2m；测试点数量可按每50㎡洁净室（区）面积一个点计算，但每个房间不得少于1点。

自净时间

洁净室的自净时间检测通常只适用于非单向流洁净室，一般以大气尘或烟雾发生器等人工尘源为基准，采用粒子计数器测试。

洁净室的自净性能还可以采用粒子浓度变化率评估，或者直接测量洁净室的100:1-自净时间进行评估。

超微粒子的测试

对洁净室（区）内粒径小于0.1μm的超微粒子的测试，可在三种占用状态中的任一种状态下进行测试。

超微粒子的测试，宜采用凝聚核粒子计数器进行。

宏粒子的测试

对洁净室（区）内粒径大于5μm的宏粒子的测，可在三种占用状态中的任一种状态下进行测试。

宏粒子的测试，宜采用过滤法、粒子计数器计数法等进行测量。

微振测试

根据生产工艺要求，对洁净厂房中需要微振控制的精密设备仪器或房间（区域），进行微振控制设施的建造质量进行检测。一般采用微振测试分析系统进行测试，包括微振动传感器、专用仪器和计算机分析系统等。

静电测试

洁净室（区）内的地面、墙面和工作台面等的表面导静电性能的测试，应根据生产工艺要求确定。宜采用高阻计进行测试。

浮游菌、沉降菌的检测

根据生产工艺要求必须控制洁净室（区）内的微生物污染时，应进行洁净室（区）内空气中微生物污染的检测。微生物污染的检测可在三种占用状态中的任一种状态进行。宜采用浮游菌的测试方法和沉降菌的测试方法。

浮游菌的测试方法是通过采样器采集在空气中的活微生物粒子，通过专门的培养基，在适宜的生长条件下繁殖到可见的菌落数。浮游菌的测试方法应符合现行国家标准《洁净室施工及验收规范》GB_50591-2010的要求。

沉降菌的测试方法是通过培养皿收集到的活微生物粒子，通过专用的培养基，在适宜的生长条件下繁殖到可见的菌落数。沉降菌的测试方法应符合现行国家标准《洁净室施工及验收规范》GB_50591-2010的要求。

沉降菌/浮游菌最少培养皿数/量

洁净空调三大领域

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