洁净室的检测项目

空气洁净度等级测试、风速和风量测试、静压差的测试、空气过滤器安装后的检漏、气流流型的检测、温度的检测、密闭性测试、相对湿度的检测、噪声测试、照度测试、超微粒子的测试、宏粒子的测试、微振测试、静电测试、自净时间。

空气洁净度等级测试

空气洁净度等级的测试一般采用粒子计数器，采样量应大于1L/min。测试粒径大于等于0.5μm粒子时，宜采用光散射粒子计数器；测试粒径大于等于0.1的粒子时，宜采用大流量激光粒子计数器（采样量每分钟28.3L）；测试粒径小于0.1μm的超微粒子时，宜采用凝聚核激光粒子计数器。

洁净度等级测试前，应先进行风速，风量、静压差、过滤器检漏和围护结构密闭性检测。

采样点确定：

应下式计算最少采样点：NL = √A ，采样点应均匀分布于洁净室（区）的面积内，并位于工作区高度。 每个采样点的每次采样量：对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向，对于非单向流洁净室，采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度。

室内测试人员必须穿洁服，不得超过3人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。

风速和风量测试

风速测试仪器可使用热球式风速计、超声风速计、叶片式风速计等；风量测试可使用带流量计的风罩、文丘里流量计、孔板流量计等。

仪器：热球风速仪，精度0.01m/s±3%,量程0~30m/s，集风罩。

方法：用集风罩住送风口，测出风口平均风速 。

单向流设施的截面风速、面风速和风量测试。

对单向流设施的风速测试，应将测试平面垂直于送风气流，该测试平面距离高效空气过滤器出风面150～300mm,宜采用300mm。将测试平面分成若干面积相等的栅格，栅格数量不少于测试截面面积（ｍ2）的平方，测点在每个栅格的中心，全部测点不少于3点。

直接测量过滤器面风速时，测点距离过滤器出风面为150mm。将测试面划分为面积相等的栅格，每个栅格尺寸为 600mm×600mm或更小，测点在每个栅格的中心。

对单向流设施的风速分布测试，一般选取工作面高度为测试平面，平面上划分的栅格数量不少于测试截面面积（m2）的平方，测点在每个栅格的中心。

对非单向流设施的风速、风量的测试。

风口法测试风速、风量。风管法测试风量。风罩法测试风量。

若在高效空气过滤器或散流器风口的上风侧已安装有文丘里或孔板流量装置时，可利用该流量计直接测量风量。

静压差的测试

静压差的测试可采用电子压差计、斜管微压计或机械式压差计。

在进行静压差检测之前，应确定洁净室送、排风量均符合设计要求。

静压差测试时应关闭洁净区内所有的门，从洁净区最里面的房间开始向外依次检测。检测时应注意使测试管的管口不受气流影响。

空气过滤器安装后的检漏

高效空气过滤器安装后的检漏 方法有光度计法和粒子计数器法。

光度计法一般用于带小型空气处理系统的洁净室或安装有气溶胶注入点的管路系统，可达到规定的 高浓度测试气溶胶。

由于粒子计数器法的灵敏性好和污染少，一般都采用粒子计数器法进行高效空气过滤器安装后的检漏。

检漏扫描时，采样口距离被测部位应小于5.0cm，以0.05m/s的速度移动。空气高效过滤器下风侧测试得到的泄漏浓度换算的透过率，不得大于该过滤器出厂合格透过率的3倍。

DOP（邻苯二甲酸二辛酯）气溶胶（d=0.3μm,>3500个/升) 检查过滤介质、密封垫是否有泄漏。

操作方法：

过滤器额定风速下，在过滤器入口处导入每升空气中含80～100微克的DOP气溶胶，然后使用一只适当的测光仪探头在过滤器气流出口处扫描，采样速度不得低于0.3m³/min。扫描整个过滤表面及框架，探头位置距滤器表面50～100mm。

产生粒子：0.3μ

上游浓度：>百万级

高效过滤器应达到的滤除率：99.97％，穿透率：～ 0％，一些企业采用拆除中效过滤器测试法。