6）在高效过滤器下游采样，检查浓度。若是下游浓度超过设定值（0.01%）则判定为泄漏。

7）如果高效过滤器表面出现泄漏，更换高效过滤器。框架出现泄漏，高效过滤器的安装边框需进行密封处理。直至高效过滤器泄漏合格。

测试仪器：

气溶胶光度计：ATI-2H一台，采样量1cfm

气溶胶发生器：ATI-4B一台、PAO溶剂4升

空气压缩机： PUMA-2P一台

合格标准：高效过滤器包括安装边框扫描所有泄露率不超过0.01%。

气溶胶光度计测试法是最早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（Aerosol Photometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来仿真无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。 泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一（0.01%），由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、可靠，美国食品与药品管制局（FDA）规定，在其管辖范围内（食品加工场所与医疗制药场所），所有的滤网泄漏测试必须使用DOP与气胶光度计。近年来由于人们怀疑DOP会导致癌症，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性类似，使用上无多大差异。

气溶胶光度计扫描的是微粒的总体强度，不是微粒数目。因此为了保证下游能检测泄漏量，上游必须释放大量气溶胶，长时间释放气溶胶可能造成二次污染，同时泄漏的结果为相对值，无法确被安装过滤器整体效率。

高效空气过滤器(HEAP)性能试验-方法比较

计数器测试法 在 工业洁净室方面，早期也是使用DOP/PAO与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果，发现PSL因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前最广为使用的标准微粒。使用时只要把PSL溶液雾化，导入滤网上游即可。

计数器测试法扫描微粒数目。上游无需释放大量气溶胶（一般为光度计法的千分之一），同时能泄漏出被安装过滤器整体效率。