各种真空泵的工作原理介绍

1爪型干式真空泵

　　爪型干式无油真空泵在泵腔内具有若干组相互啮合的爪型转子。转子与转子之间及转子与泵腔之间并不接触，留有微小的间隙，不用任何润滑剂，从而保证了清洁的真空环境。泵的结构采用多级转子窜连的形式，每组转子分别位于不同泵腔做同步反方向运动。泵腔被爪型转子分隔为吸气腔和排气腔两部分。随着转子连续运转，进行循环的吸气排气过程，实现了泵连续抽气的目的。

　　上图为罗茨转子由0°到360°的抽气过程。在0°位置时（图a），进排气道关闭，吸气腔与排气腔沟通，泵腔内压力均衡相等。当两个转子旋转到50°时（图b），形成负压腔，进气道打开，正压腔压力逐渐提高。工作过程中，此位置是转子正好处于换向泵腔压力平衡的瞬间，转子从该位置再转过一定角度，则转子开始密封分割为吸气腔与压缩排气腔两部分，此时开始做功。此位置进气口打开，随着转子的继续旋转负压腔容积逐渐增大开始吸气，排气腔容积逐渐减小，由于排气口尚未打开，因此气体被压缩，压缩量随排气口上线位置的变化而变化。当转子旋转到155°时，此时负压腔继续进气，排气道打开，开始排气。此位置时泵的吸气做功继续进行，排气口开始打开，被压缩的气体快速排入下一级泵腔。当转子旋转到312°时，进排气口关闭。此位置转子做功以完成一个周期，此时泵腔内压力逐渐恢复均衡状态。（图d）此位置又回到初始位置，随着泵转子的连续旋转，吸气和排气过程循环进行，实现了泵的连续抽气做功，实现了抽真空的目的。转子没转一周，吸气和排气各进行一次。 2/9 首页上一页123456下一页尾页