什么是低温泵(冷凝泵)低温泵结构及原理

时间:2017-02-26 来源:网络 作者:佚名 收藏到我的收藏夹
简介:低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面

不定期的维护程序:

① 根据需要对压缩机补充氦气;

② 低温泵的冷却容量出现明显下降时更换冷头活塞;

③ 当玷污物进入氦气回路时,用氦气吹洗压缩机和冷头。

低温泵的点检与故障的查找分析

1 低温泵点检

① 冷冻机运行是否平稳。

② 温度、真空度是否正常。

③ 泵体外侧是否有冷凝水存在, 否则, 需进行再生。

2.压缩机点检

① He 气压、水流量、水温、油位是否正常。

( He 气压 低压:0.4~0.8MPa;高压:1.7~2.2MPa水温范围8°~35°,正常纯水即可)

② 压缩机运转是否正常。

故障排除程序:

当你发现低温泵-压缩机系统有问题上时,在没有确定问题的根源是低温泵还是压缩机故障之前,我们首先参看如下的简单问题的检查。

⊙低温泵接通电源与否。

⊙压缩机插好电源后没有反映,看看压缩机的热保护是否已经复位。

⊙看压缩机是否放平,因为过大的斜度时压缩机运行时可能会造成压机过热而停止。

⊙在低温泵没达到切入压力时,不能打开高真空阀门。

⊙低温泵是否要再生?

⊙制冷机的核心部件经过 9000-12000 小时后更换没有?

⊙真空系统是否漏气。

⊙冷阵是否被油污染。

⊙金属软管安装是否正确,切忌不能装反。

⊙氦气是否充足。

故障现象

故障范围

可能原因

建议措施

1.低温泵最低温度太高或降温时间太长

a.低温泵已经抽气至饱和

低温泵需要再生

启动再生器进行低温泵再生

系统负载太大

更换制冷量更大的低温泵

开启压力过高

在启动低温泵之前至少预抽到3Pa

b.氦气压力太低

系统有氦气泄漏

对整个系统进行检漏,查出漏点并解决

c.障板或辐射屏

障板或辐射屏与

泵外壳相碰

拧紧螺钉确保他们的正确位置

辐射屏被腐蚀或

很脏没有光泽

拆下用酒精清洗

故障现象

故障范围

可能原因

建议措施

2.低温泵噪 音大,运转缓慢或不正常(正常为2.4Hz)

a.氦回路或配

气阀污染

氦的供气系统中含有湿气或空气

用 5 个 9 的高纯氦气吹洗,确保没有湿气


氦气中含有油蒸汽

安装一只新吸附器

b.制冷机

活塞或配气阀损坏

更换


配气阀与阀座之间有赃物

清洗


来源于互联网。

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