冷头温度超过20K或一级冷头温度超过130K；(2)高真空阀门关闭5min后泵内压强在1×10^-4Pa以上。

特别提醒:由于低温泵是吸附型的泵，它属于储存过程气体的。因此，再生时，必须对前级泵、前级真空阀以及前级压力进行可靠监控。同时危险气体可能从前级泵排出。且前级阀和前级泵一定要打开，不然低温泵的压力很可能会跳到正压，前级泵的排气口必须与适当的排气管线连接。

为什么要定期保养？

冷冻机内其他可能交换的部品：

固定位置O型圈:破损老化或者检漏泄漏处需  要更换。

马达：马达驱动轴断裂或扭矩明显不足时需要交换。

气缸：使用超过十年或内部刮伤、有氦气泄漏的需要更换。

马达键：磨损严重时需要交换。

其他部件：有破损或明显不可修复变形时，需要交换。

冷冻的油成分导致的症状和问题点

１）损伤密封件

?突然发生故障

２）伤及冷冻机气缸

?导致更换气缸等高额修理费的

３）油成分沾在金属管内

?会突然发生冷却不良

预防维护规范：

① 记录低温泵温度……（每天）

② 记录压缩机压力……（每天）

③ 更换压缩机吸附器…（18000 小时）

④ 更换冷头活塞………（按需要）

⑤ 向压缩机加氦气……（按需要，一般压力低于1.2MPa时需补充）

正常情况下