本规范适用于电子工业新建、改建和扩建工程的电子工业大宗气体纯化及输送系统的设计、施工及验收。 目录1 总则2 术语3 站房布置4 工艺系统5 设备选择6 高纯气体输送系统 7 建筑结构 8 采暖通风与空气调节 9 给水排水及消防 10 电气及仪表控制 11 施工及验收 附录 本规范用词说明 引用标准名录 附:条文说明