本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。 本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。 英文名称: Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-geometrical parameters