GB/T 26112-2010 微机电系统(MEMS)技术微机械量评定总则 GB/T26112-2010

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本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。
本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。
英文名称：  Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-mechanical parameters

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