本标准规定了扫描电镜一能谱仪化学成分定量分析相关参数的测定方法。
本标准适用于对扫描电镜中影响定最分析性能的相关参数和能谱仪基木参数的测定,并以元素成
分定量分析结果对仪器做出综合分析。
2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款.凡是注日期的引用文件,其随后所有
的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准.
GB/T 4930微束分析电子探针分析标准样品技术条件导则
GB/T 17359-1998电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则
GB/T 20726半导体探测器X射线能谱仪通则
JJF 1001通用计盆术语及定义