本标准规定了X射线光电子能谱仪的检定方法.本标准适用于使用非单色化Al或Mg X射线或单色化Al X射线,且带有溅射清洁用离子枪的X射线光电子能谱仪的检定。
2规范性引用文件
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GB/T 19500-2004 X射线光电子能谱分析方法通则
GB/T 21006-2007表面化学分析X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪强度标的线性(ISO 21270:2004,IDT)
GB/T 22461-2008表面化学分析词汇(ISO 18115 : 2001, IDT)
GB/T 20175-2006表面化学分析溅射深度剖析用层状膜系为参考物质的优化方法
(ISO 14606:2000,IDT)
GB/T 22571-2008表面化学分析X射线光电子能谱仪能量标尺的校准(ISO 15472:2001,IDT)