确定度（1σ）小于1.2%。整套装置采用全金属结构，校准室是圆柱形不锈钢容器，容器内表面通过机械抛光和电化学抛光处理以减小吸放气的影响。采用全金属的真空阀门，阀门之间的部分过渡和连接管道由机床加工而成，避免了由于管道焊接带来的形位公差而引起的漏气。在校准室周围设计了旁通管道，既有利于在测量中稳定气体流量，又便于对整个系统进行清洗.整套装置由计算机程序控制，实现校准过程的全自动化操作。图7定容式气体微流量标准装置工作原理图
3结束语

微型动力源的研究是在微型机械设备制造技术最近取得发展的基础上进行的。微流量的计量精度对于分析实验数据，掌握微火焰的各种燃烧特性，提高微机电设备的稳定性等都有重要的作用。本文对几种液体、气体微流量计量方法作了简单的介绍，具有重要的参考价值。