传感器置于被测件压力液体的入口处。被测件的输入压力由压力液体及调压阀提供；调节调压阀，可向被测件施加一序列不同的压力值。设施加于被测件的压力值为pj，调压阀的出口压力为pt，流量计差压传感器的示值为Δp，如果不计管路压力损失，则pt=Δp pj。由于流量计两端的差压值Δp与流量之间存在某一对应关系，因此Δp与pj的关系实际上反应了被测件的泄漏量与压力之间的关系。图3管式差压流量计检测泄漏量的结构图1.3毛细管液体微流量计利用不锈钢毛细管具有十分稳定的渗流性能，且毛细管的液体流量与毛细管两端的压差成正比，与液体的粘度成反比的关系，通过准确测量毛细管两端的压差来准确计量液体流量。而压差计量是一项十分成熟的技术。将毛细管的这种特性用于液体微流量测量，将会得到精确的测量结果。该方法的优点是：①使用方便，理论上可以放入流程的任意位置；②可以耐高温高压；③数据稳定且准确性高；④可以实现连续测量，输出实时流量。具体应用方法如图4所示。将已知内径、长度参数的毛细管串入流程内，利用差压传感器计量毛细管两端的压差，然后利用毛细管渗流公式即可算出流程内液体的准确流量。图4毛细管计量原理图1.4医用微量注射泵医用微量注射泵由步进电机及其驱动器、丝杆和支架等构成，具有往复移动的丝杆、螺母，因此也称为丝杆泵。螺母与注射器的活塞相连，注射器里盛放液体燃料。工作时，单片机系统发出控制脉冲使步进电机旋转，而步进电机带动丝杆将旋转运动变成直线运动，推动注射器的活塞进行注射输送液体，把注射器中的液体燃料输出。通过设定螺杆的旋转速度，就可调整其对注射器针栓的推进速度，从而调整所给的液体燃料。结构如图5所示。图5微量注射泵的结构医用微量注射泵的量程一般为μL/h~mL/h范围，允许误差较小。如：保定兰格恒流泵有限公司生产的TS2-60型注射泵的量程为1μL/h~63mL/h，允许误差为<1%。根据市场调查，目前国产微量注射泵的价格为几千至1万多元不等，进口价格2万元~5万元。步进电机具有快速启停、精确步进（无积累误差）以及能直接接收数字量等优点，而且它的步距角和转速受环境影响小，仅与脉冲频率有关，目前市场上的微量注射泵都是采用步进电机进行驱动的。2气体微燃料的计量气体流量是单位时间内通过某一截面的气体量，其状态由压力、体积和时间3个参量来描述。气体流量的测量有3种方法：若气体压力保持不变，通过改变气体体积的测量方法，则为恒压法；若体积保持不变，通过改变压力的测量方法，则为定容法；若压力和体积都在变化，则为变压变容法。由此可知，根据流量测量的方法，可分为恒压式流量计、定容式流量计和变压变容式流量计。变压变容式流量计的结构复杂，控制难度大，实际应用的较少，一般采用恒压式流量计和定容式流量计。2.1恒压式流量计图6为恒压式气体微流量计原理图。该恒压式气体微流量计能够提供3.96×10-4Pa•m3/s~3.64×10-8Pa•m3/s范围内的气体微流量。在10-8Pa•m3/s范围内的相对合成标准不确定度为1%，在1×10-7Pa•m3/s~1×10-4Pa•m3/s范围内的相对合成标准不确定度为0.7%。流量测量原理是：当气体流入或流出变容室时，改变变容室的容积，使变容室中气体压力保持恒定，则气体在Tr温度（Tr一般取23℃）下的流量就可以通过测量变容室内气体的压力P、温度T和体积变化率dV/dt而计算得到。Q=-[d（P•V）/dt]•（Tr/T）=-P•（dV/dt）•（Tr/T）（dP/dt=0），（1）式中：Q为气体流量，单位：Pa•m3/s；P为变容室压力，单位：Pa；dV/dt为变容室体积变化率，单位：m3/s；Tr/T为变容室温度变化率，无量纲。图6恒压式气体微流量计原理图2.2定容式流量计图7为所设计的定容式气体微流量标准装置工作原理图。该标准的校准范围为1×10-3Pa•m3/s~10Pa•m3/s，不
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图3管式差压流量计检测泄漏量的结构图
图4毛细管计量原理图
图5微量注射泵的结构
图6恒压式气体微流量计原理图