（2）协调控制技术：控制多机器人及变位机协调运动，既能保持焊枪和工件的相对姿态以满足焊接工艺的要求，又能避免焊枪和工件的碰撞。

（3）精确焊缝轨迹跟踪技术：结合激光传感器和视觉传感器离线工作方式的优点，采用激光传感器实现焊接过程中的焊缝跟踪，提升焊接机器人对复杂工件进行焊接的柔性和适应性，结合视觉传感器离线观察获得焊缝跟踪的残余偏差，基于偏差统计获得补偿数据并进行机器人运动轨迹的修正，在各种工况下都能获得最佳的焊接质量。

4.激光加工机器人

激光加工机器人是将机器人技术应用于激光加工中，通过高精度工业机器人实现更加柔性的激光加工作业。本系统通过示教盒进行在线操作，也可通过离线方式进行编程。该系统通过对加工工件的自动检测，产生加工件的模型，继而生成加工曲线，也可以利用CAD数据直接加工。可用于工件的激光表面处理、打孔、焊接和模具修复等。

关键技术包括：

（1）激光加工机器人结构优化设计技术：采用大范围框架式本体结构，在增大作业范围的同时，保证机器人精度；

（2）机器人系统的误差补偿技术：针对一体化加工机器人工作空间大，精度高等要求，并结合其结构特点，采取非模型方法与基于模型方法相结合的混合机器人补偿方法，完成了几何参数误差和非几何参数误差的补偿。

（3）高精度机器人检测技术：将三坐标测量技术和机器人技术相结合，实现了机器人高精度在线测量。

（4）激光加工机器人专用语言实现技术：根据激光加工及机器人作业特点，完成激光加工机器人专用语言。

（5）网络通讯和离线编程技术：具有串口、CAN等网络通讯功能，实现对机器人生产线的监控和管理；并实现上位机对机器人的离线编程控制。

5.真空机器人

真空机器人是一种在真空环境下工作的机器人，主要应用于半导体工业中，实现晶圆在真空腔室内的传输。真空机械手难进口、受限制、用量大、通用性强，其成为制约了半导体装备整机的研发进度和整机产品竞争力的关键部件。而且国外对中国买家严加审查，归属于禁运产品目录，真空机械手已成为严重制约我国半导体设备整机装备制造的“卡脖子”问题。直驱型真空机器人技术属于原始创新技术。

关键技术包括：

（1）真空机器人新构型设计技术：通过结构分析和优化设计，避开国际专利，设计新构型满足真空机器人对刚度和伸缩比的要求；

（2）大间隙真空直驱电机技术：涉及大间隙真空直接驱动电机和高洁净直驱电机开展电机理论分析、结构设计、制作工艺、电机材料表面处理、低速大转矩控制、小型多轴驱动器等方面。

（3）真空环境下的多轴精密轴系的设计。采用轴在轴中的设计方法，减小轴之间的不同心以及惯量不对称的问题。

（4）动态轨迹修正技术：通过传感器信息和机器人运动信息的融合，检测出晶圆与手指之间基准位置之间的偏移，通过动态修正运动轨迹，保证机器人准确地将晶圆从真空腔室中的一个工位传送到另一个工位。

（5）符合SEMI标准的真空机器人语言：根据真空机器人搬运要求、机器人作业特点及SEMI标准，完成真空机器人专用语言。

（6）可靠性系统工程技术：在IC制造中，设备故障会带来巨大的损失。根据半导体设备对MCBF的高要求，对各个部件的可靠性进行测试、评价和控制，提高机械手各个部件的可靠性，从而保证机械手满足IC制造的高要求。

6.洁净机器人

洁净机器人是一种在洁净环境中使用的工业机器人。随着生产技术水平不断提高，其对生产环境的要求也日益苛刻，很多现代工业产品生产都要求在洁净环境进行，洁净机器人是洁净环境下生产需要的关键设备。

关键技术包括：

（1）洁净润滑技术：通过采用负压抑尘结构和非挥发性润滑脂，实现对环境无颗粒污染，满足洁净要求。

（2）高速平稳控制技术：通过轨迹优化和提高关节伺服性能，实现洁净搬运的平稳性。

（3）控制器的小型化技术：根据洁净室建造和运营成本高，通过控制器小型化技术减小洁净机器人的占用空间。

（4）晶圆检测技术：通过光学传感器，能够通过机器人的扫描，获得卡匣中晶圆有无缺片、倾斜等信息。

随着智能装备的发展，机器人在工业制造中的优势越来越显着，机器人企业也如雨后春笋般的出现。然而占据主导地位的还是那些龙头企业。

附：工业机器人的十大品牌

1.发那科

发那科是日本一家专门研究数控系统的公司，是世界上唯一一家由机器人来做机器人的公司，是世界上唯一提供集成视觉系统的机器人企业。FANUC机器人产品系列多达240种，广泛应用在装配、搬运、焊接、铸造、喷涂、码垛等不同生产环节。

2.库卡

库卡及其德国母公司是世界工业机器人和自动控制系统领域的顶尖制造商。库卡工业机器人的用户包括通用汽车、西门子等众多单位。KUKA的机器人产品最通用的应用范围包括工厂焊接、操作、码垛、包装、加工或其它自动化作业，同时还适用于医院。

3.那智不二越

那智不二越是从原材料产品到机床的全方位综合制造型企业。有机械加工、工业机器人、功能零部件等丰富的产品，应用的领域也十分广泛，例如航天工业，轨道交通、汽车制造、机加工等。那智不二越着眼全球，从欧美市场扩展到中国市场，下一步将开发东南亚市场。

4.川崎机器人

川崎机器人在物流生产线上提供了多种多样的机器人产品，在饮料、食品、肥料、太阳能等多种领域都有非常可观的销量。川崎的码垛搬运等机器人种类繁多，针对客户工场的不同状况和不同需求提供最适合的机器人。并且公司内部有展示用喷涂机器人、焊接机器人，以及试验用喷房等能够为顾客提供各种相关服务。

5.ABB机器人

中国已经成为ABB全球第一大市场。目前，ABB机器人产品和解决方案已广泛应用于汽车制造、食品饮料、计算机和消费电子等众多行业的焊接、装配、搬运、喷涂、精加工、包装和码垛等不同作业环节，帮助客户大大提高其生产率。

6.史陶比尔

史陶比尔集团制造生产精密机械电子产品：纺织机械、工业接头和工业机器人。系列齐全的轻、中、重负载机器人、4轴SCARA机器人、6轴机器人、特殊机器人，专用于众多不同行业和应用。目前史陶比尔生产的工业机器人具有更快的速度，更高的精度，更好的灵活性和更好的用户环境的特点。

7.柯马

柯马公司研发出的全系列机器人产品，负载范围最小可至6公斤，最大可达800公斤。柯马最新一代SMART系列机器人是针对点焊，弧焊，搬运，压机自动连线，铸造，涂胶，组装和切割的SMART自动化应用方案的技术核心。柯马以其不断创新的技术，成为了机器人自动化集成解决方案的佼佼者。

8.爱普生机器人

目前，爱普生机器人在中国地区推广的产品主要以4轴工业机器人、6轴工业机器人为主，同时提供业内通用的工业机器人（机械手）附件。作为水平多关节工业机器人领域的领先企业，爱普生全新的LS系列产品，旨在减轻繁重的人工操作。

9.日本安川

安川机器人活跃在从日本国内到世界各国的焊接、搬运、装配、喷涂以及放置在无尘室内的液晶显示器、等离子显示器和半导体制造的搬运搬送等各种各样的产业领域中。日本安川工业机器人一直获得用户的青睐。

10.新松机器人

新松机器人是以机器人及自动化技术为核心，致力于数字化高端装备制造的高技术企业，在工业机器人、智能物流、自动化成套装备、智能服务机器人等领域呈产业群组化发展。公司以工业机器人技术为核心，形成了大型自动化成套装备与多种产品类别，广泛应用于汽车整车及汽车零部件、工程机械、轨道交通、低压电器等行业。